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Filmetrics成立于1995年,其使命是讓薄膜測(cè)量變得簡(jiǎn)單而經(jīng)濟(jì)。在我們到達(dá)之前,
薄膜厚度測(cè)量?jī)x器的價(jià)格為50,000美元或更高,并且需要高級(jí)培訓(xùn)。單次測(cè)量耗
時(shí)長(zhǎng)達(dá)一小時(shí)。 微電子和軟件革命催生了薄膜計(jì)量學(xué)方法,操作人員只需接受幾分
鐘的培訓(xùn)即可完成不到一秒鐘的薄膜厚度測(cè)量。
Filmetrics于2019年3月被KLA收購(gòu)。
一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺(tái)式測(cè)量系統(tǒng)。 測(cè)量 1nm 到 3mm 的單層薄膜或多層薄膜堆。
F20
F3-sX
F10-ARc
F10-RT
F10-HC
F3-CS
F10-AR