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日本unipulse 低硅測力傳感器 UWR-10N的產品介紹
產品概要
半導體制造業(yè)中設備集成的理想之選!
低硅測力傳感器
在半導體的生產過程中,使用不易釋放硅氧烷(由硅樹脂所釋放的氣體)的設備至關重要。
UWR是一種梁式測力傳感器。
考慮到該傳感器將被應用在硅晶片附近,生產時使用了不易產生氯氣的聚四氟乙烯護套電纜。
技術參數
使用案例?配線圖
使用案例
晶片傳送機器人的夾緊力管理晶片拋光過程中的壓力控制芯片貼裝機的負載控制
焊線過程中的壓力控制
氣體、液體、膠狀物等的附著力測量