日本vista智能真空計(jì)SC-10的產(chǎn)品介紹
可測(cè)量殘留氣體成分的真空計(jì),
用于真空設(shè)備的健康檢查!
?通過(guò)監(jiān)測(cè)殘留氣體成分,可以監(jiān)控真空設(shè)備的健康狀況并立即發(fā)現(xiàn)異常情況。
?用一臺(tái)裝置即可測(cè)量真空度(總壓)和氣體成分(分壓)。
SC-10智能真空計(jì)是我公司研發(fā)的一款全新的自動(dòng)真空計(jì),既可以測(cè)量殘余氣體成分,也可以測(cè)量全壓真空??倝赫婵辗秶鷱拇髿鈮旱?0-7Pa的超高真空,當(dāng)總壓達(dá)到約50Pa時(shí),氣體成分的分壓自動(dòng)開(kāi)始,從而可以測(cè)量約10-5Pa到10-6Pa。 可以在粗略壓力范圍內(nèi)測(cè)量氣體成分并檢查是否有泄漏,而這對(duì)于傳統(tǒng)氣體分析儀來(lái)說(shuō)是不可能的。
智能真空計(jì)可以測(cè)量殘留氣體的成分,因此即使在抽氣過(guò)程中,您也可以快速檢查真空設(shè)備的健康狀況,例如泄漏和水蒸氣脫氣。下面兩圖顯示了同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù),在圖1中,顯示了正常排氣,水蒸氣是主要成分,決定了總壓力真空,而在圖2中,氮?dú)庥捎谛孤┒V?。向下抽真空開(kāi)始后約5分鐘,如果繼續(xù)抽真空約10分鐘,氮?dú)饬砍^(guò)水蒸氣量,總壓和真空度也停止下降。通過(guò)使用智能真空計(jì),您可以快速發(fā)現(xiàn)僅通過(guò)監(jiān)測(cè)總壓力和真空度無(wú)法檢測(cè)到的排氣異常及其原因。
智能真空計(jì)不僅可以讓您知道是否存在泄漏,還可以噴射氦氣或氬氣來(lái)定位泄漏位置。圖3顯示了在泄漏位置噴射氬氣時(shí)智能真空計(jì)的數(shù)據(jù),氬氣增加而氮?dú)鉁p少表明存在泄漏。泄漏停止后,如圖4所示,氮?dú)夂脱鯕鉁p少,水蒸氣成為主要成分,成為典型真空裝置的殘余氣體成分。
無(wú)需其他操作,只需將其打開(kāi)并連接到您的電腦即可。 SC-10內(nèi)置的全量程真空計(jì)可測(cè)量從大氣壓到超高真空的總壓力,當(dāng)總壓力達(dá)到約50Pa時(shí),自動(dòng)開(kāi)始?xì)堄鄽怏w成分的測(cè)量(分壓測(cè)量)。無(wú)需擔(dān)心,當(dāng)恢復(fù)到大氣壓時(shí),氣體成分測(cè)量將自動(dòng)關(guān)閉。
殘余氣體測(cè)量在約 50Pa 的低真空下進(jìn)行,因此可以在傳統(tǒng)氣體分析儀 (RGA) 無(wú)法操作的粗略壓力下檢測(cè)異常和泄漏檢查。
由于沒(méi)有燈絲,因此耐臟,無(wú)需擔(dān)心斷線。即使傳感器臟了,您也可以輕松地自行清潔。
安裝很容易。只需將傳感器連接到真空設(shè)備,使用 USB 電纜將其連接到 PC,然后連接交流適配器即可。該傳感器體積小、重量輕,甚至可以在 Windows 平板電腦上運(yùn)行,因此您可以隨身攜帶它,輕松測(cè)量壓力、殘余氣體并檢查是否泄漏。