一、SC-3100
●通過連接PC創(chuàng)建各種收集模式,并從硅晶片的表面和側(cè)面(斜角部分)收集(采樣)微量金屬污染物。
●設(shè)備引入簡單,不需要太多外部資源,不占用太多空間。
●由于工作是機(jī)械完成的,因此不需要操作員技能,任何人都可以輕松取樣。
●由于設(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架,因此與SC-2000相比,可以減少工人造成的污染。
二、SC-8100
●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能,并且可以對硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導(dǎo)致表面變得粗糙的晶圓進(jìn)行采樣。
●放寬了對晶圓條件和采樣化學(xué)品類型的限制,使得可以回收重金屬以外的離子。
●當(dāng)然,傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
三、SC-9100
●具有即使是親水狀態(tài)的晶圓也能捕集污染物的功能,可對硅以外的材料的晶圓或因整體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓進(jìn)行取樣。
●放寬了對晶圓條件和采樣化學(xué)品類型的限制,使得可以回收重金屬以外的離子。
●當(dāng)然,傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
●由于設(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架,因此與SC-8100相比,可以減少工人造成的污染。