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azbil壓力表型號 V8C/V8SV8 型藍寶石隔膜真空計通過使用應用 MEMS 加工技術的傳感器提高了抗沉積性。受壓部分采用機械性能優(yōu)異、耐腐蝕、耐熱的單晶藍寶石,V8S的最高工作溫度為250℃
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azbil壓力表型號 V8C/V8SV8
azbil壓力表型號 V8C/V8SV8
V8 型藍寶石隔膜真空計通過使用應用 MEMS 加工技術的傳感器提高了抗沉積性。
受壓部分采用機械性能優(yōu)異、耐腐蝕、耐熱的單晶藍寶石,V8S的最高工作溫度為250℃。
通過應用MEMS加工技術,偏移量提高到原來的1/10。
應力平衡結(jié)構(gòu)
壓力傳感部分外圓周的厚度
抵消了外圓周與中心部分的應力平衡,使
壓力傳感部分不易變形,減少零點漂移。
通過對凹凸不平的傳感器
壓力傳感部分表面進行凹凸處理,
將附著的薄膜分開,降低沉積物的應力作用。
對于 V8S,我們通過分離基板和傳感器并審查所用材料,實現(xiàn)了 250°C 的最高工作溫度。
我們提高了內(nèi)部元器件的空間效率,體積減少了 40%。(與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比)
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