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showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE真空室主要是配備運(yùn)輸機(jī)器人的運(yùn)輸室,由蝕刻室和盒室三個(gè)房間組成。真空室材料由A5052制成,A5052對(duì)運(yùn)輸室,蝕刻室和盒室都進(jìn)行了脫脂處理。
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品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
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showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
特征 | ||
1. | 緊湊型設(shè)備 尺寸(1000mmW×1100mmD×1600mmH) | |
2. | 單晶圓系統(tǒng),生產(chǎn)率高,是批量生產(chǎn)的理想選擇 | |
3. | 加工質(zhì)量高 | |
? | 單晶圓類型確保高蝕刻均勻性。 | |
? | 背面采用非接觸式氣冷系統(tǒng),不會(huì)損壞基板背面 | |
4. | 采用高真空排氣裝置 | |
5. | 高可維護(hù)性 | |
? | 真空室的小型化便于維護(hù) | |
6. | 由于設(shè)備外形緊湊,安裝位置沒(méi)有限制 |
1. | 設(shè)備配置 | ||||||||||
真空室主要是配備運(yùn)輸機(jī)器人的運(yùn)輸室,由蝕刻室和盒室三個(gè)房間組成。 真空室材料由A5052制成,A5052對(duì)運(yùn)輸室,蝕刻室和盒室都進(jìn)行了脫脂處理。 | |||||||||||
2. | 排氣系統(tǒng) | ||||||||||
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3. | 性能 | ||||||||||
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4. | 供電系統(tǒng) | ||||||||||
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5. | 氣體引入系統(tǒng) | ||||||||||
CF/SF、氦、O2 質(zhì)量流量控制器 3 | |||||||||||
6. | 控制系統(tǒng) | ||||||||||
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7. | 外部尺寸 | ||||||||||
設(shè)備本體 1000mmW×1100mmD×1600mmH 設(shè)備重量 1000Kg | |||||||||||
8. | 公用事業(yè) | ||||||||||
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