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showashinku盒對盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE真空室主要是配備運輸機器人的運輸室，由蝕刻室和盒室三個房間組成。真空室材料由A5052制成，A5052對運輸室，蝕刻室和盒室都進行了脫脂處理。
產品型號：SPE廠商性質：經銷商更新時間：2023-04-11訪 問 量：431
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| 品牌 | 其他品牌 | 產地 | 國產 |
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showashinku盒對盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
showashinku盒對盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
| 特征 | ||
| 1. | 緊湊型設備 尺寸（1000mmW×1100mmD×1600mmH） | |
| 2. | 單晶圓系統(tǒng)，生產率高，是批量生產的理想選擇 | |
| 3. | 加工質量高 | |
| ? | 單晶圓類型確保高蝕刻均勻性。 | |
| ? | 背面采用非接觸式氣冷系統(tǒng)，不會損壞基板背面 | |
| 4. | 采用高真空排氣裝置 | |
| 5. | 高可維護性 | |
| ? | 真空室的小型化便于維護 | |
| 6. | 由于設備外形緊湊，安裝位置沒有限制 | |
| 1. | 設備配置 | ||||||||||
| 真空室主要是配備運輸機器人的運輸室，由蝕刻室和盒室三個房間組成。 真空室材料由A5052制成，A5052對運輸室，蝕刻室和盒室都進行了脫脂處理。 | |||||||||||
| 2. | 排氣系統(tǒng) | ||||||||||
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| 3. | 性能 | ||||||||||
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| 4. | 供電系統(tǒng) | ||||||||||
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| 5. | 氣體引入系統(tǒng) | ||||||||||
| CF/SF、氦、O2 質量流量控制器 3 | |||||||||||
| 6. | 控制系統(tǒng) | ||||||||||
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| 7. | 外部尺寸 | ||||||||||
| 設備本體 1000mmW×1100mmD×1600mmH 設備重量 1000Kg | |||||||||||
| 8. | 公用事業(yè) | ||||||||||
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