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關(guān)于光譜干涉式晶圓測(cè)厚儀SF-3的特征及用法
2023-04-14產(chǎn)品中心/ products
otsukael光譜干涉式晶圓測(cè)厚儀SF-3的介紹OPTM 是一種通過(guò)使用顯微鏡光譜測(cè)量微小區(qū)域的絕對(duì)反射率來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)分析的設(shè)備。各種薄膜、晶圓、光學(xué)材料等鍍膜、多層膜厚度的無(wú)損、非接觸測(cè)量??梢赃M(jìn)行1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量。此外,它配備了軟件,即使是初次使用的用戶(hù)也可以輕松分析光學(xué)常數(shù)。。
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otsukael光譜干涉式晶圓測(cè)厚儀SF-3的介紹
otsukael光譜干涉式晶圓測(cè)厚儀SF-3的介紹
OPTM 是一種通過(guò)使用顯微鏡光譜測(cè)量微小區(qū)域的絕對(duì)反射率來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)分析的設(shè)備。
各種薄膜、晶圓、光學(xué)材料等鍍膜、多層膜厚度的無(wú)損、非接觸測(cè)量??梢赃M(jìn)行1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量。此外,它配備了軟件,即使是初次使用的用戶(hù)也可以輕松分析光學(xué)常數(shù)。。
膜厚測(cè)量所需的功能集成在測(cè)量頭中
使用顯微光譜法進(jìn)行高精度絕對(duì)反射率測(cè)量(多層膜厚度、光學(xué)常數(shù))
每點(diǎn)1秒以?xún)?nèi)的高速測(cè)量
實(shí)現(xiàn)顯微鏡下寬測(cè)量波長(zhǎng)范圍(紫外到近紅外)的光學(xué)系統(tǒng)
區(qū)域傳感器安全機(jī)制
一個(gè)簡(jiǎn)單的分析向?qū)В词故浅醮问褂玫挠脩?hù)也可以進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
配備可自定義測(cè)量順序的宏功能
也可以分析復(fù)雜的光學(xué)常數(shù)(多點(diǎn)分析法)
300mm載物臺(tái)兼容
能夠從低亮度到高亮度進(jìn)行高速、高精度測(cè)量的光譜輻射亮度計(jì)。
使用電子冷卻線(xiàn)性陣列傳感器,的光譜設(shè)計(jì)和信號(hào)處理電路在寬亮度范圍和波長(zhǎng)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了低噪聲、高精度測(cè)量。
- 輻射 (W/sr/m 2 ) | - 色域(NTSC 比例)*1 |
- 亮度 (cd/ m2 ) | - 反應(yīng)速度*2 |
- 色度坐標(biāo) xy [符合JIS Z8724 ] | - 亮度 (J) *3 |
- 色度坐標(biāo) U'V' [符合JIS Z8781-5 ] | - 亮度 (Q) *3 |
- 相關(guān)色溫 | - 飽和度 (s) *3 |
- CIE 顏色系統(tǒng) 2°/10° | - 色度 (C) *3 |
- 三刺激值 XYZ | - 色彩度(M)*3 |
- 偏差 | - 等效亮度值*4 |
- 光譜數(shù)據(jù)的四種算術(shù)運(yùn)算 | |
- 光譜數(shù)據(jù)的功能處理 |
LCD、PDP、有機(jī)EL、大尺寸LED視覺(jué)等顯示器件的
光譜數(shù)據(jù)、亮度、色度、相關(guān)色溫測(cè)量
照明光源(如燈)的光譜數(shù)據(jù)、亮度、色度和相關(guān)色溫的測(cè)量
作為各種亮度和色度測(cè)量?jī)x器的標(biāo)準(zhǔn)
物體的非接觸式顏色測(cè)量