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關(guān)于光譜干涉式晶圓測(cè)厚儀SF-3的特征及用法
2023-04-14產(chǎn)品中心/ products
otsukael分光橢偏儀 旋轉(zhuǎn)分析器 膜厚計(jì)FE-5000/5000S的介紹除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過(guò)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來(lái)兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過(guò)為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。
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otsukael分光橢偏儀 旋轉(zhuǎn)分析器 膜厚計(jì)FE-5000/5000S的介紹
otsukael分光橢偏儀 旋轉(zhuǎn)分析器 膜厚計(jì)FE-5000/5000S的介紹
除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過(guò)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來(lái)兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過(guò)為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。 |
可在紫外-可見(jiàn)(300 至 800 nm)波長(zhǎng)范圍內(nèi)測(cè)量橢圓參數(shù)
能夠分析納米級(jí)多層薄膜的膜厚
通過(guò) 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測(cè)量橢圓光譜
支持通過(guò)可變反射角測(cè)量對(duì)薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析
通過(guò)創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)和添加配方注冊(cè)功能提高可操作性
橢圓參數(shù)(tanψ,cosΔ)測(cè)量
光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))分析
膜厚分析
半導(dǎo)體ウェーハ
ゲート酸化薄膜,窒化膜
SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
レジストの光學(xué)定數(shù)(波長(zhǎng)分散)
化合物半導(dǎo)體
AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon),超伝導(dǎo)用薄膜,磁気ヘッド薄膜
光學(xué)薄膜
TiO2,SiO2,反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長(zhǎng)におけるn,k評(píng)価