products category
Related articles
產(chǎn)品中心/ products
otsukael分光橢偏儀 旋轉(zhuǎn)分析器 膜厚計FE-5000/5000S的介紹除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測量精度。
聯(lián)系電話:
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
---|
otsukael分光橢偏儀 旋轉(zhuǎn)分析器 膜厚計FE-5000/5000S的介紹
otsukael分光橢偏儀 旋轉(zhuǎn)分析器 膜厚計FE-5000/5000S的介紹
除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測量精度。 |
可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)
能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
支持通過可變反射角測量對薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析
通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性
橢圓參數(shù)(tanψ,cosΔ)測量
光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))分析
膜厚分析
半導(dǎo)體ウェーハ
ゲート酸化薄膜,窒化膜
SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
レジストの光學(xué)定數(shù)(波長分散)
化合物半導(dǎo)體
AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon),超伝導(dǎo)用薄膜,磁気ヘッド薄膜
光學(xué)薄膜
TiO2,SiO2,反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価