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關(guān)于光譜干涉式晶圓測(cè)厚儀SF-3的特征及用法
2023-04-14 產(chǎn)品中心/ products
otsukael 高靈敏度示差折光儀 鎢絲燈 光源DRM-3000的介紹征通過(guò)注射器方法可以很容易地進(jìn)行樣品注入。數(shù)據(jù)處理很容易，因?yàn)榭刂坪蛿?shù)據(jù)采集是從個(gè)人計(jì)算機(jī)進(jìn)行的。低噪聲、高穩(wěn)定性和可重復(fù)測(cè)量是可能的。
產(chǎn)品型號(hào)：DRM-3000廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2023-04-14訪 問(wèn) 量：687
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otsukael 高靈敏度示差折光儀 鎢絲燈 光源DRM-3000的介紹
otsukael 高靈敏度示差折光儀 鎢絲燈 光源DRM-3000的介紹
通過(guò)注射器方法可以很容易地進(jìn)行樣品注入。
數(shù)據(jù)處理很容易，因?yàn)榭刂坪蛿?shù)據(jù)采集是從個(gè)人計(jì)算機(jī)進(jìn)行的。
低噪聲、高穩(wěn)定性和可重復(fù)測(cè)量是可能的。
通過(guò)靜態(tài)光散射測(cè)定重均分子量的 dn/dc 測(cè)量
表面活性劑等的膠束臨界濃度（c.m.c）測(cè)量
高分子吸附量的測(cè)定
高分子共聚物的成分分析
脂質(zhì)體相變溫度測(cè)量等
除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過(guò)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來(lái)兼容所有類(lèi)型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過(guò)為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。 |
可在紫外-可見(jiàn)（300 至 800 nm）波長(zhǎng)范圍內(nèi)測(cè)量橢圓參數(shù)
能夠分析納米級(jí)多層薄膜的膜厚
通過(guò) 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測(cè)量橢圓光譜
支持通過(guò)可變反射角測(cè)量對(duì)薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析
通過(guò)創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)和添加配方注冊(cè)功能提高可操作性
橢圓參數(shù)（tanψ，cosΔ）測(cè)量
光學(xué)常數(shù)（n：折射率，k：消光系數(shù)）分析
膜厚分析
半導(dǎo)體ウェーハ
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光學(xué)定數(shù)(波長(zhǎng)分散)
化合物半導(dǎo)體
AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導(dǎo)用薄膜，磁気ヘッド薄膜
光學(xué)薄膜
TiO2，SiO2，反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長(zhǎng)におけるn，k評(píng)価
| 光源 | 鎢絲燈 | |||
| 探測(cè)器 | 光電二極管陣列 | |||
| 測(cè)量波長(zhǎng) | 633 nm（帶干涉濾光片） | |||
| 樣品池 | 流通池容量 8 μL（注射器法） | |||
| 溫度范圍 | 10至50°（無(wú)結(jié)露） 恒溫水循環(huán)系統(tǒng) | |||
| 測(cè)量范圍 | 0 至 ±4× 10 -3Δn | |||
| 噪音水平 | 2×10 -7 Δn（25℃，蒸餾水） | |||
| 基礎(chǔ)穩(wěn)定性 | 2×10 -6 Δn/h（25℃，蒸餾水） | |||
| 電源 | AC100V±10V, 150VA (最大) | |||
| 尺寸（WDH） | 260×400×165mm | |||
| 重量 | 約13公斤 | |||
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