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日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺

日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺 MVXA05A-R102
1.真空兼容自動X平臺，采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。
2.進給方式采用高分辨率磨削螺桿。
3.采用真空對應(yīng)5相步進電機。

產(chǎn)品型號：MVXA05A-R102
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-10-10
訪問量：72

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日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺 MVXA05A-R102

注釋/特點

1.真空兼容自動X平臺，采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。

2.進給方式采用高分辨率磨削螺桿。

3.采用真空對應(yīng)5相步進電機。

機械規(guī)格

模型 MVXA05A-R102

桌面 50毫米×50毫米

指導(dǎo)方法精密交叉滾子導(dǎo)軌

移動范圍 ±7.5毫米

飼養(yǎng)方法接地螺絲，導(dǎo)程0.5mm

分辨率全/半 1μm/0.5μm

分辨率微步（1/20 格） 0.05μm

最大速度 2.5毫米/秒：半5kpps

累計導(dǎo)程誤差 ≤6μm/15mm

重復(fù)定位精度 ≤±0.5μm

失去運動 ≤1μm

水平真直度 ≤1μm/15mm

垂直真直度 ≤1μm/15mm

反彈 ≤1μm

力矩剛度 0.31 弧秒/N?cm

水平承載能力 49N（5公斤力）

材質(zhì) 鋁合金

自重 0.66公斤