紫外光固化BG表面保護膠帶Adwill E系列是紫外光固化BG表面保護膠帶,可在背磨過程中可靠地保護晶圓表面,防止因研磨水和研磨碎屑的滲入而污染晶圓表面。 UV照射顯著降低膠帶剝離時的粘合強度,因此不會對晶圓施加應力,可用于加工大直徑和薄晶圓。
特殊工藝:DBG
按工藝分類的膠帶應用
1.標準
2.超薄研磨(厚度>40μm)
3.微型泵(含墨點)
4.泵(高度<150μm)
5.高泵(高度<250μm)
兼容設備
-標準型(通用型)
1.設備可靠性高
晶圓表面污染極少,因此背面研磨后無需清洗晶圓。
2.保持高清潔度的生產系統
-薄型/凸塊晶圓兼容型
1.抑制背面研磨后的晶圓翹曲,支撐凸塊晶圓
2.提高晶圓厚度精度 (TTV*)