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ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀UNECS?PortableUNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用特的測量方式,實現(xiàn)了高速測量和機體的小型化。
聯(lián)系電話:
品牌 | 其他品牌 | 產地 | 國產 |
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ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀UNECS?Portable
ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀UNECS?Portable
高速測定:
獨的快照方法可實現(xiàn)高達20 ms的高速測量。
適用于可見光譜:
波長范圍可選標準類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。
緊湊型傳感器單元:
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護。
豐富的產品陣容:
產品陣容應用廣泛,包括如獨的便攜類型,手動/自動平臺類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環(huán)境的內置類型。
透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數(shù)的測量
波長范圍 | 530 ~ 750nm、380 ~ 760nm(選擇) | |
點徑 | Φ1mm、Φ0.3mm(選擇) | |
入射角度 | 70o固定 | |
膜厚再現(xiàn)性 | 1σ = 0.1nm | |
膜厚范圍 | 1nm ~ 2μm | |
測量時間 | 受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms | |
平臺 | 固定類型(Φ150mm以下、可拆卸) | |
控制PC | 筆記本類型(帶操作/分析軟件) | |
機器構成 | 測量本體(帶固定臺)、控制器BOX、光源單元 操作PC(筆記本型)、使用說明書(CD) |