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產(chǎn)品中心/ products
ulvac-kiko 真空閥 真空角閥 雙動(dòng)式VLP?SA020JHUNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用特的測量方式,實(shí)現(xiàn)了高速測量和機(jī)體的小型化。
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品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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ulvac-kiko 真空閥 真空角閥 雙動(dòng)式VLP?SA020JH
ulvac-kiko 真空閥 真空角閥 雙動(dòng)式VLP?SA020JH
采用特的測量方式,實(shí)現(xiàn)了高速測量和機(jī)體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括特的便攜式,自動(dòng)式和對應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。
UNECS-Portable,測量部的重量只有2.2kg重量輕且緊湊,是易于攜帶的便攜式類型。
可用于真空設(shè)備現(xiàn)場驗(yàn)收試驗(yàn),可以通過分離樣品臺(tái)直接放在樣品上進(jìn)行大尺寸樣品的測量。
高速測定:
獨(dú)的快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測量。
適用于可見光譜:
波長范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。
緊湊型傳感器單元:
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護(hù)。
豐富的產(chǎn)品陣容:
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛,包括如獨(dú)的便攜類型,手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。
透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數(shù)的測量
波長范圍 | 530 ~ 750nm、380 ~ 760nm(選擇) | |
點(diǎn)徑 | Φ1mm、Φ0.3mm(選擇) | |
入射角度 | 70o固定 | |
膜厚再現(xiàn)性 | 1σ = 0.1nm | |
膜厚范圍 | 1nm ~ 2μm | |
測量時(shí)間 | 受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms | |
平臺(tái) | 固定類型(Φ150mm以下、可拆卸) | |
控制PC | 筆記本類型(帶操作/分析軟件) | |
機(jī)器構(gòu)成 | 測量本體(帶固定臺(tái))、控制器BOX、光源單元 操作PC(筆記本型)、使用說明書(CD) |