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技術(shù)文章/ article
VPDBOX特點(diǎn)●該設(shè)備利用氫氟酸自然汽化,在氣相狀態(tài)下分解硅片上的氧化膜和氮化膜,使硅片表面疏水化。●與酸性液體、酸性氣氛接觸的部件采用PTFE、PVDF?!裾?qǐng)與半自動(dòng)收集裝置SC系列配合使用。規(guī)格參數(shù)裝置名VPDBOX-200-1MVPDBOX-300-1M最大處理張數(shù)1件1件外形(W×D×H)(mm)(※1)290×290×250390×390×250重量6公斤8公斤使用場所干凈的草案里面干凈的草案里面外部資源N2氣(用于酸性氣氛吹掃)N2氣(用于酸性氣氛吹掃)
一、SC-3100●通過連接PC創(chuàng)建各種收集模式,并從硅晶片的表面和側(cè)面(斜角部分)收集(采樣)微量金屬污染物。●設(shè)備引入簡單,不需要太多外部資源,不占用太多空間。●由于工作是機(jī)械完成的,因此不需要操作員技能,任何人都可以輕松取樣?!裼捎谠O(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架,因此與SC-2000相比,可以減少工人造成的污染。二、SC-8100●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能,并且可以對(duì)硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導(dǎo)致表面變得粗糙的晶圓進(jìn)行采樣?!穹艑捔藢?duì)晶...
UV(紫外線)臭氧清洗設(shè)備照射特定波長的紫外線產(chǎn)生臭氧(O3),利用產(chǎn)生的臭氧氧化分解有機(jī)化合物,從而去除工件表面的有機(jī)污染物,這就是UV臭氧清洗。進(jìn)行重整的裝置。紫外線(UV)臭氧清洗設(shè)備UV-208和UV-312采用高密度網(wǎng)格狀低壓汞燈作為UV光源。通過使用高密度網(wǎng)格形狀的燈,可以均勻地照亮整個(gè)工作區(qū)域。特征1.采用高密度紫外線格柵燈。2.工作表面上的照射均勻。3.節(jié)省空間、緊湊的設(shè)計(jì)。4.一個(gè)簡單的實(shí)用程序。5.可用于雙面和單面清潔。6.操作簡單,內(nèi)置安全功能。
溫度控制器TC-2030的參數(shù)緊湊的盒狀溫度控制器便于攜帶,可以安裝在任何地方。產(chǎn)品參數(shù)電源單相或三相200V最大電流30A以下電源控制固態(tài)繼電器控制溫度控制器PID控制(帶自整定功能)溫度控制器防止過熱安裝在控制器內(nèi)部傳感器輸入類型熱電偶(K型)使用條件(環(huán)境)0~50℃(無凝露)尺寸220毫米(寬)x340毫米(深)x175毫米(高)重量約5.5公斤加熱器斷電功能*當(dāng)溫度異常時(shí),通過溫控器的控制或信號(hào)激活保護(hù)電路,防止過熱并切斷加熱器電源。*當(dāng)熱電偶斷開時(shí),保護(hù)電路啟動(dòng)并...
深度剖析紫外線臭氧清洗機(jī)裝置一、概述該裝置是一種UV臭氧清洗機(jī),可以對(duì)各種半導(dǎo)體工藝進(jìn)行干燥處理??梢赃M(jìn)行有機(jī)物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍(lán)寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發(fā)生器和加熱臺(tái),紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實(shí)現(xiàn)高效的清潔和表面改性,而不會(huì)對(duì)基材造成電氣損壞。二、特征1.由于同時(shí)使用紫外線(UV)、高濃度臭氧(O?)和載物臺(tái)加熱器的熱量,因此可以實(shí)現(xiàn)高效清潔。2.離子或電子不會(huì)對(duì)元件造成損壞。3.由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不...
一、特點(diǎn)●通過與標(biāo)準(zhǔn)品比較,輕松測(cè)量OK/NG●還可以容納不同節(jié)距的連桿●通過通用設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高性價(jià)比二、測(cè)定方法?在測(cè)定器上設(shè)置主表,將小端孔的平行度、間距測(cè)定用的刻度盤設(shè)定為0?將測(cè)量用量規(guī)設(shè)置在母線小端孔、大端孔的端面0上?拆下主機(jī)?在連桿的小端孔、大端孔中安裝有液壓馬達(dá)。?再將液壓馬達(dá)安裝于連桿的狀態(tài)下使其旋轉(zhuǎn)并安裝于測(cè)定機(jī)?將指示器放在要測(cè)量的部位,確認(rèn)指針的擺動(dòng)位置。?如果針的擺動(dòng)在產(chǎn)品的規(guī)定公差內(nèi),則判斷為OK;如果超出公差,則判斷為NG
一、主要特點(diǎn)1.由于散射很少,因此無需遮蔽即可進(jìn)行涂覆。清晰的邊緣減少了遮蓋工作。2.無需稀釋即可涂抹低至中等粘度(10至1,500mPa.s)的液體。由于無溶劑或水基液體可以作為未稀釋的溶液使用,因此對(duì)環(huán)境的影響較小。3.涂裝效率達(dá)90%以上,減少環(huán)境影響。與空氣噴涂相比,涂裝效率高得多,減少了材料損失,并且無需涂漆房,減少了工作環(huán)境和環(huán)境影響。4.可形成納米級(jí)薄膜。適合形成納米級(jí)薄膜,減少材料成本和干燥時(shí)間。5.由于它以螺旋方式霧化,因此即使在孔的內(nèi)表面和凹凸不平的部件上...
電動(dòng)鼓風(fēng)機(jī)是以電動(dòng)機(jī)為動(dòng)力的鼓風(fēng)機(jī)。日本的一款緊湊型電動(dòng)鼓風(fēng)機(jī)EC-63S,專為多種用途而開發(fā),例如易于使用以及組裝到工業(yè)設(shè)備和裝置中時(shí)的易用性。其采用高品質(zhì)設(shè)計(jì),可在高達(dá)60℃的進(jìn)氣溫度下連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行,防止進(jìn)氣中的水分進(jìn)入軸承,并防止細(xì)小灰塵進(jìn)入。通常應(yīng)用于:印刷機(jī)/燃燒器/塑料擠出機(jī)/廚房機(jī)械/木工機(jī)械/清潔機(jī)/熱風(fēng)發(fā)生器/倉庫/設(shè)備冷卻/整體通風(fēng)/干燥機(jī)/焚化爐/點(diǎn)心機(jī)/集塵器/其他除上述以外,我們還支持多種用途,因此請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系。
一、產(chǎn)品概述體驗(yàn)高自由度追求更高功能性和更大測(cè)試自由度的“NoDoorα”,字面意思是“前面沒有門”的溫濕度測(cè)試箱??勺杂梢迫搿⒁瞥龉摅w,提高測(cè)試效率。二、產(chǎn)品特點(diǎn)1.自由工作可以從外部自由進(jìn)入,不受溫度和濕度的干擾,直接操作工件和連接探頭,而不會(huì)受到溫度和濕度的壓力。2.提高測(cè)試效率工件可以從前面裝卸,不受開關(guān)門時(shí)箱內(nèi)溫度變化的影響。工件重新交付后的溫濕度穩(wěn)定時(shí)間可以顯著縮短,并且可以提高旋轉(zhuǎn)速度,從而提高測(cè)試效率。[操作:通過交互式液晶控制器輕松操作設(shè)備]3.可進(jìn)行廣泛的...
紫外光固化BG表面保護(hù)膠帶AdwillE系列是紫外光固化BG表面保護(hù)膠帶,可在背磨過程中可靠地保護(hù)晶圓表面,防止因研磨水和研磨碎屑的滲入而污染晶圓表面。UV照射顯著降低膠帶剝離時(shí)的粘合強(qiáng)度,因此不會(huì)對(duì)晶圓施加應(yīng)力,可用于加工大直徑和薄晶圓。特殊工藝:DBG按工藝分類的膠帶應(yīng)用1.標(biāo)準(zhǔn)2.超薄研磨(厚度40μm)3.微型泵(含墨點(diǎn))4.泵(高度5.高泵(高度兼容設(shè)備-標(biāo)準(zhǔn)型(通用型)1.設(shè)備可靠性高晶圓表面污染極少,因此背面研磨后無需清洗晶圓。2.保持高清潔度的生產(chǎn)系統(tǒng)-薄型/...